SK머티리얼즈, 불화수소 가스 양산 개시
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SK머티리얼즈, 불화수소 가스 양산 개시
  • 박근홍 기자
  • 승인 2020.06.17 17:03
  • 댓글 0
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[시사오늘·시사ON·시사온= 박근홍 기자]

SK그룹은 소재전문 계열사 SK머티리얼즈가 최근 초고순도 불화수소 가스 양산을 시작했다고 17일 밝혔다.

이날 SK그룹에 따르면 SK머티리얼즈는 지난해 말 초고순도(순도 99.999%) 불화수소 가스 시제품 개발에 성공한 뒤 경북 영주공장에 15톤 규모 생산시설을 건설하는 등 국산화 작업을 진행했다.

초고순도 불화수소 가스는 반도체 제조에 쓰이는 세정 가스로 반도체 공정 마세화에 따라 수요가 급증하고 있으나 해외 의존도가 100%에 달하는 제품이다.

SK머티리얼즈는 이번 양산을 통해 오는 2023년까지 국산화율을 70%까지 끌어올린다는 방침이다. 또한 이와 함께 고부가 포토레지스트 영역에서도 국산화 작업을 본격화할 예정이다.

실제로 SK머티리얼즈는 하드마스크(SOC, 반도체 미세패턴 형성 보조재료)와 불화아르곤 포토레지스트(ArF PR, 반도체 패턴 형성에 쓰이는 감광액) 개발에 최근 돌입한 바 있다. 이중 불화아르곤 포토레지스트는 해외 의존도가 90%에 이른다.

아울러 SK그룹은 이처럼 소재 국산화 과정에서 확보한 역량을 중소기업 상생 협력으로 연결해 국내 반도체 생태계 강화에 나설 계획이다.

SK그룹 측은 "투자비나 전문인력 확보에 어려움을 겪는 중소기업들에 SK가 보유한 노하우를 공유해 업계 전체가 진화·발전하도록 도울 것"이라며 "중소기업 상생 협력을 강화해 국내 반도체 산업 경쟁력을 제고하고 고용 창출 효과에도 기여하겠다"고 말했다.

담당업무 : 건설·부동산을 중심으로 산업계 전반을 담당합니다
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